. . . . . . . . . . "2011"^^ . . . . . . "La g\u00E9om\u00E9trie des mat\u00E9riaux sous forme de couches minces est \u00E0 la base de la technologie des dispositifs de petite taille. La caract\u00E9risation m\u00E9canique de ces couches est d\u00E9terminante pour leur int\u00E9gration industrielle. L\u2019indentation instrument\u00E9e est une m\u00E9thode de mesure bien adapt\u00E9e aux petites \u00E9chelles. Dans cette \u00E9tude, nous nous int\u00E9ressons \u00E0 l\u2019effet au premier ordre de la g\u00E9om\u00E9trie du film sur l\u2019essai d\u2019indentation. Pour cela, nous d\u00E9crivons le comportement du film \u00E0 l\u2019aide des lois de plasticit\u00E9 cristalline utilisant les densit\u00E9s de dislocations comme variable interne (sans \u00E9crouissage cin\u00E9matique ni introduction de gradient de d\u00E9formation). Cette strat\u00E9gie de mod\u00E9lisation a donn\u00E9 de tr\u00E8s bons accords quantitatifs avec l\u2019exp\u00E9rience dans le cas de monocristaux massifs de Cu. Elle est ici utilis\u00E9e pour explorer uniquement l\u2019effet g\u00E9om\u00E9trique d\u00FB \u00E0 l\u2019\u00E9paisseur finie du film plastique d\u00E9pos\u00E9 sur un substrat \u00E9lastique. Les crit\u00E8res de comparaison entre le cas massif et la g\u00E9om\u00E9trie planaire sont d\u2019une part les courbes de force et de rigidit\u00E9 en fonction de la profondeur d\u2019indentation et d\u2019autre part les champs de d\u00E9placement en surface : ces donn\u00E9es sont facilement accessibles exp\u00E9rimentalement (Microscopie \u00E0 Force Atomique) et num\u00E9riquement. Les simulations num\u00E9riques sont confront\u00E9es \u00E0 des donn\u00E9es exp\u00E9rimentales obtenues sur des films de Cu sur Si et des monocristaux de Cu."@fr . "Thin films coatings are the building blocks of small devices technology. The mechanical characterization of these layers is a key point of their integration in industrial systems. Instrumented indentation is an experimental measurement technique well suited to small scales. In this study, the first order effect of the film geometry on the indentation test is studied. The constitutive laws for the films are based on crystal plasticity using dislocations densities as internal variables (without kinematic hardening or strain gradients). This modelling strategy gave good quantitative agreements with experiments in the case of bulk Cu single crystals. It is used here in order to explore the geometry effect due to the finite thickness of the elastic-plastic films deposited on elastic substrates. The criteria of comparison between the finite thickness films and the bulk samples are curves of indentation forces and stiffness versus indentation depth on the one hand, surface deformation on the other hand; it is straightforward to get these data from the finite elements simulations and from the experiments (Atomic Force Microscopy). The simulations are compared to experimental data obtained on Cu films deposited on Si and Cu single crystals."@en . "Effet de confinement g\u00E9om\u00E9trique sur la d\u00E9formation plastique cristalline : cas du film mince sur substrat"@fr . . . . . "mt110031" . . "EDP Sciences" . . "\u00A9 EDP Sciences, 2011" . "2011"^^ .